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陈鲁博士:集成电路光学检测技术在中国的发展和挑战

来源:暂无    时间:2018-09-19    点击次数:147

      9月13日,由中国半导体行业协会主办,集成电路分会、国家集成电路封测产业链技术创新战略联盟、江苏省半导体行业协会、无锡市经济和信息化委员会等单位承办的第21届中国集成电路制造年会在江苏省无锡市富力喜来登大酒店隆重召开。

 

      深圳中科飞测科技有限公司(以下简称中科飞测)受邀参加本次大会,公司董事长兼总经理陈鲁博士在大会上做了题为《集成电路光学检测技术在中国的发展和挑战》的精彩演讲。

 

中科飞测董事长兼总经理陈鲁博士

 

      陈鲁博士在此次论坛上的主题演讲核心内容如下:

 

      首先,陈鲁博士从目前对集成电路与封测的检测需求指出光学检测的重要性。由前道制造工艺到先进封装工艺,都要用到光学检测,光学检测可以说遍布了整个生产工艺流程。前道制造工艺与先进封装工艺中用到的光学检测方法一样,只不过前道制程检测精度会高一些,而先进封装结构相对复杂一些。


     
     接下来,陈鲁博士指出:集成电路检测设备全球市场超过50亿美元,其中KLA-Tencor占比为50%,处于垄断状态。

 

全球半导体检测设备厂商市场占比(2016年)


     
      另外,集成电路光学检测设备企业的地域主要分布在美国、日本、以色列。


      随后,陈鲁博士表示集成电路设备市场将逐步向中国转移,他预测2019年中国集成电路设备将占全球市场的26%,成为全球最大的集成电路设备市场。如今,全球集成电路设备市场规模逐年增长率超过10%,而中国的市场增速远高于全球,预计2018年和2019年,中国的市场将继续高速增加。随着国内市场需求的增长,国外检测设备企业在中国的销售收入大幅跳跃。

 

      但是,中国集成电路检测设备的国产率很低,2018年半导体装备国产率仅达13%。虽然先进封装装备国产率达80%,PV和LED设备覆盖率高,但是光学检测设备发展起步晚,基础更加薄弱,直到2018年才全面覆盖了先进封装检测设备关键检测装备领域,在芯片制造的关键检测设备中部分达到65/55nm及更高。


     
     然后,陈鲁博士指出,相对于国外知名检测设备企业,从营收、研发投入、企业规模、市场占有率等几个方面来看,国内全部光学检测设备企业的总和,比国外任何一家领先的企业,都低了10倍,甚至50倍以上。由此可见国内企业的实力是非常弱小的。因此,国内企业要想追赶国外企业,将面临以下两个挑战:一是国内企业发展晚,起点低,缺乏检测系统的整体技术方案;二是国内企业产业链薄弱,缺失细分重要部件。


     
     当然,在强大的挑战面前,国内检测设备市场也迎来了很大的发展空间与机遇。陈鲁博士对此发表了自己的思考与感想:国内检测设备市场发展是非常快的,正赶上这几年行业高速成长的机会。他预测在2019年–2020年,中国检测市场规模将达到15亿美元。陈鲁博士总结国产集成电路光学检测设备企业的发展机遇共有以下几点:一,国内检测设备市场规模的高速增长;二,与国产设备相比,进口设备垄断,价格高,且支持不及时,产业整体缺少主导权;三,国内企业已经磨练出了有技术积累和工程积累的核心光学检测技术团队;四,国内集成电路制造提出新的技术,从而带来了新的检测需求。正是拥有这四大发展机遇,陈鲁博士坚信国内检测设备市场将持续高速发展。

 

      接下来,陈鲁博士介绍了国产检测设备企业代表——中科飞测,中科飞测的企业使命是成为中国所有先进制造产业中自动化质量控制设备与服务的第一选择。中科飞测在大环境机遇下取得了快速发展,它成为唯一一家在Metrology(量测)和Inspection(缺陷检测)两大领域均在国内Top的芯片厂商取得批量订单并安装使用的半导体光学检测设备供应商!企业目前已经覆盖了先进封装领域,正在进入芯片制造的前道领域;设备销售安装跨海峡两岸、跨前道IC和先进封测领域;能够提供五大系列、10种以上细分类别的检测设备产品;公司得到政府、行业和科研院所的多维度的大力支持,近几年蓬勃发展,拥有优秀的精英管理团队和工程团队,每年的营收增长率在100%以上!

 

      中科飞测能有这么瞩目的发展成就,也得益于企业快速和精准的光学检测设备全布局。该布局分为四个方面,分别为:一,全面,即产品全面覆盖集成电路和晶圆级封测的光学检测需求;二,精准,即精准满足客户复杂和变化的新要求,差异化来自于学习;三,快速,即快速研发,快速验证,大大缩短客户从需求到使用的周期;四,服务,即价格有国产优势,24x7的客户现场支持。

 

      同时,中科飞测系列产品覆盖IC前道和先进封装的各种检测需求。


      陈鲁博士介绍说,公司的产品都是以树的英文名来命名,寓意是希望公司的发展能像树一样,一棵一棵的栽下去,最后形成一片茂密的森林。

 

      最后,陈鲁博士表示公司未来将实行与多方企业合作的模式,他希望能够达到全产业链的合作双赢。他指出检测行业需求很散,虽然每个细分领域不大,但都有它独特的需求,同时又处于快速变化当中,所以任何一家企业想去自主研发所有的方向是不可能 的,而中科飞测将为所有企业提供一个多方合作、共赢的协作平台。与上游企业合作,即与光源、成像、运动定位、功能模块等部件供应商合作,共同成长。与半导体设备厂商,比如在工艺节点以后需马上进行测量的半导体厂商,在清洗、光刻等领域都是可以功能互补的,能联合在一起,为客户提供整体解决方案,从而全面满足客户的要求。与国外检测设备厂商合作,即使是竞争对手,也能相互合作,不是每一家企业都快速进入了中国蓬勃发展的市场里面,所以只有联合合作,互相分享,支持,才能快速进入中国市场。

 

      以上为陈鲁博士的主要演讲内容。

 

      同期,中科飞测在大会现场办有咨询展台,前来洽谈的人络绎不绝。





      此次会议云集了众多行业知名人士,以及政府领导。此次会议也将中科飞测推向了更加广阔的领域,相信中科飞测将在集成电路检测设备产业上走向更高的平台,与上下游企业乃至竞争对手企业达成双赢的合作模式,加快推动集成电路光学检测设备中国市场的发展。