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  亚微米量级二维图形缺陷和三维尺度测量检测

  产品特点

  高速度、高精度先进封装的二维缺陷检测系统和三维尺度测量系统

  多模式的明暗场多角度的照明系统,智能缺陷检测和分类的检测模式

  应用领域

  晶圆芯片上的图形缺陷检测

  晶圆芯片上的三维尺度扫描
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集成电路